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濺射薄膜壓力傳感器與薄膜壓力變送器有哪些優(yōu)勢(shì)

發(fā)布時(shí)間:2018-4-23??????發(fā)布人:澤天傳感??????點(diǎn)擊:

卓越的溫度性能:工溫度寬:-40-175℃(傳感器);-40-125℃(變送器直接測(cè)量)溫漂小:無(wú)補(bǔ)償全溫區(qū)0.02%F.S/℃漂移。長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性,在壓力交變頻繁的場(chǎng)合下,使用壽命長(zhǎng)。在航天行業(yè),用于液氮、液氧測(cè)量的低溫壓力傳感器已經(jīng)成功替代了俄羅斯的濺射薄膜壓力傳感器。這是其它類型傳感器無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。下圖為澤天傳感設(shè)計(jì)制造的一種最為典型的濺射薄膜壓力傳感器實(shí)物圖。

濺射薄膜壓力傳感器實(shí)物圖

類 型 優(yōu) 點(diǎn) 缺 點(diǎn)
擴(kuò)散硅 在溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)(0—50℃或0—70℃)性能穩(wěn)定;小量程和絕壓優(yōu)于其它類型;靈敏度高 低于0℃或高于80℃后,溫度穩(wěn)定性會(huì)大幅度降低;不能承受動(dòng)態(tài)壓力;膜片易受損傷。
厚膜陶瓷 成本低;抗腐蝕性好;使用溫度寬 輸出跳動(dòng),不易讀數(shù);壓力下降時(shí)回零慢、遲滯大;陶瓷膜片薄而脆、易碎
電容式 量程全;抗過(guò)載能力強(qiáng);性能穩(wěn)定 體積大;不能承受動(dòng)態(tài)壓力;高溫需充硅油
應(yīng)變片貼片 低成本;成熟傳統(tǒng)工藝 由膠引起的時(shí)漂大;靠手工生產(chǎn)離散性大
濺射薄膜 工作溫度寬,溫漂小,精度高 全球公認(rèn)長(zhǎng)期穩(wěn)定性和高可靠性、長(zhǎng)壽命;適用惡劣環(huán)境 成本比較高;生產(chǎn)周期長(zhǎng)

曾經(jīng)大量用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃?xì)鉁y(cè)量的貼片式壓力傳感器,由于其固有的缺陷正慢慢的被薄膜壓力傳感器代替。油井高溫流體壓力的檢測(cè),澤天公司薄膜壓力傳感器占有國(guó)內(nèi)30%左右的市場(chǎng)份額。在頻繁沖擊壓力測(cè)量方面,其它變送器重復(fù)性差,并存在如下缺陷:擴(kuò)散硅、陶瓷型變送器由于靠密封圈密封。經(jīng)過(guò)動(dòng)態(tài)壓力的間隙性的沖擊,密封圈容易損壞,而澤天傳感變送器采用全焊接形式,不會(huì)泄漏。貼片式變送器雖能克服泄漏問(wèn)題,但在壓力的沖擊下,膠層很容易老化,而產(chǎn)生蠕變,因而使用壽命很短。電容式變送器在壓力交變的沖擊下,傳感器膜盒很容易損壞。發(fā)動(dòng)機(jī)行業(yè),現(xiàn)多采用機(jī)械式壓力傳感器。由于有機(jī)械部件不抗震、精度太低。而擴(kuò)散硅、貼片式又不能解決其溫度問(wèn)題,所以很快將會(huì)被薄膜壓力傳感器取代。本文源自澤天傳感,版權(quán)所有,轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。

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